HSC-D3812 是MMK体育面向先进制程打造的新一代单片清洗平台。其采用双层隔离架构、先进的多化学液处理能力，并具备最高20腔体的极致扩展性，可实现高达 1,000 wph 的产能，为客户提供全新的高效清洗解决方案。
先进的单片清洗平台， 应用于12英寸集成电路、先进封装和晶圆制造领域
灵活的腔室数量配置，最大可配置20腔
每腔室最多同时配置5种药液，可实现2种药液回收
两层独立的清洗腔室和传输系统，可实现不同产品混合生产，无交叉污染
配置高速传送系统，最大产能1000片每小时
